- [鑫藍動態]芯片廢氣處理方法-鑫藍環保[ 2024-11-27 00:00 ]
- 芯片廢氣處理方法主要依據廢氣成分的不同而有所區別。芯片廢氣主要包括酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和特殊氣體。以下是鑫藍環保對芯片廢氣處理方法的詳細闡述： 酸性廢氣處理 酸性廢氣主要來源于芯片清洗和蝕刻過程中使用的酸性化學試劑，如硫酸、鹽酸、氟化氫等，這些過程會釋放出氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫等污染物。處理方法主要采用濕式洗滌塔，以堿性溶液為吸收液進行中和反應，去除廢氣中的酸性成分。同時，配置多級噴淋和填料層以提高凈化效率
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