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半導體行業的廢氣有哪些，如何處理？

文章出處：原創網責任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發表時間：2024-01-18 00:00:00【大中小】

半導體行業的廢氣主要包括一般氣體廢氣、含毒性物質的廢氣、有機廢氣和含有酸性/堿性物質的廢氣。其中，有機廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿廢氣包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的產生主要來自半導體制造過程中的清洗、刻蝕、顯影等環節。

對于這些半導體廢氣處理，需要根據其性質選擇合適的方法，如洗滌法、吸附法、燃燒法等。同時，還需要注意控制處理效果，確保廢氣排放符合的相關標準。

半導體廢氣處理方法有多種，主要包括以下幾種：

熱氧化法：將廢氣在高溫下與氧氣進行反應，將有機物氧化分解為無害物質。這種方法能夠高效處理廢氣中的有機物，但需要消耗大量的能源，同時也會產生二氧化碳等溫室氣體。

活性炭吸附法：利用活性炭的吸附作用去除廢氣中的有機物。這種方法不需要消耗能源，同時也可以回收利用吸附劑中的有機物。

化學洗滌法：通過液體自身的溶解特性，更好地捕捉沉降和溶解去除污染物，從而達到大氣排放標準。這種方法是半導體行業酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。

吸附濃縮法：沸石轉輪吸附濃縮裝置主要用于有機廢氣的治理，特別適合于大風量、低濃度場合。對大風量、低濃度的VOCs廢氣，TO直燃爐一般會搭配沸石轉輪使用。

焚燒處理技術：通過熱氧化將有機物轉化為CO2和H20。同時，焚燒對處理穩定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。為節省燃料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產生的熱量對進口氣體進行預熱。

在實際應用中，需要根據廢氣的種類、濃度、產生量等因素選擇合適的處理方法，并注意控制處理效果，確保廢氣排放符合國家和地方的相關標準。

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